真空燒結(jié)爐主要用于半導(dǎo)體元器件及電力整流器件的燒結(jié)工藝，可進(jìn)行真空燒結(jié)，氣體保護(hù)燒結(jié)及常規(guī)燒結(jié)，是半導(dǎo)體專用設(shè)備系列中一種新穎的工藝裝備，它設(shè)計(jì)構(gòu)思新穎，操作方便，結(jié)構(gòu)緊湊，在一臺(tái)設(shè)備上可完成多個(gè)工藝流程。亦可用于其他領(lǐng)域內(nèi)的真空熱處理，真空釬焊等工藝。
　　真空燒結(jié)爐是怎樣操作的？
　　1、中頻電源、真空爐爐體、感應(yīng)圈之冷卻水源——蓄水池之水必須充滿，水中不得有雜質(zhì)。真空爐
　　2、開(kāi)動(dòng)水泵，使其中頻電源，真空爐感應(yīng)圈、爐體冷卻系統(tǒng)水循環(huán)正常，并調(diào)整水壓控制在規(guī)定值。
　　3、檢查真空泵電源系統(tǒng)，皮帶盤(pán)皮帶松緊，真空泵油是否位于油封觀察孔中線。檢查妥后，人工轉(zhuǎn)動(dòng)真空泵皮帶盤(pán)，如無(wú)異常，可在關(guān)閉蝶閥的情況下，啟動(dòng)真空泵。
　　4、檢查真空爐體內(nèi)情況，要求真空爐體內(nèi)一級(jí)衛(wèi)生，感應(yīng)圈絕緣良好，密封真空膠帶具有彈性，尺寸合格。
　　5、檢查真空爐體的杠桿手把啟動(dòng)是否靈活。
　　6、檢查轉(zhuǎn)動(dòng)式麥?zhǔn)险婵沼?jì)是否合乎要求。
　　7、檢查石墨坩堝，裝爐配件是否齊全。
　　8、在以上準(zhǔn)備就緒后，接通電源，中頻電源合閘，按中頻啟動(dòng)規(guī)則，試啟動(dòng)變頻，成功后停止變頻，方可開(kāi)爐。
　　9、真空爐體上蓋的觀察、測(cè)溫孔，每次開(kāi)爐均需清潔處理，以便觀察和測(cè)溫。
　　10、裝爐時(shí)應(yīng)根據(jù)不同燒結(jié)產(chǎn)品，采取相應(yīng)裝爐方式。按有關(guān)材質(zhì)裝爐規(guī)則裝盤(pán)，不得隨意更改。
　　11、為了保持恒溫，防止熱輻射，發(fā)熱坩堝上加二層碳纖維，再罩上隔熱屏。
　　12、墊好真空密封膠帶。
　　13、操作杠桿手把，轉(zhuǎn)動(dòng)真空爐頂蓋與爐體密切重合，放下頂蓋，并鎖好固定螺母。
　　14、徐徐打開(kāi)蝶閥，抽爐體空氣，至真空度達(dá)到規(guī)定值。
　　15、在真空度達(dá)到規(guī)定要求后，開(kāi)始啟動(dòng)變頻，調(diào)整中頻功率，按有關(guān)材質(zhì)的燒結(jié)規(guī)定操作；升溫、保溫冷卻。
　　16、燒結(jié)完畢后，停止變頻，按停止變頻開(kāi)關(guān)，逆變停止工作，斷開(kāi)中頻電源分閘與斷開(kāi)電源總閘。
　　17、從爐體觀察孔觀察爐膛發(fā)黑后，先關(guān)閉真空泵蝶閥與斷開(kāi)真空泵電流，再接自來(lái)水繼續(xù)冷卻感應(yīng)圈和爐體，停水泵。
　　18、中頻電壓750伏有觸電危險(xiǎn)。在整個(gè)操作和檢查過(guò)程中，要注意操作安全，不要用手接觸中頻電柜。
　　19、在燒結(jié)過(guò)程中，隨時(shí)從爐體側(cè)面觀察孔觀察感應(yīng)圈是否發(fā)生放弧現(xiàn)象，如發(fā)現(xiàn)異常現(xiàn)象，應(yīng)立即報(bào)告有關(guān)人員處理。
　　20、啟動(dòng)真空蝶閥應(yīng)緩慢，否則會(huì)因抽氣過(guò)急而冒油，帶來(lái)不良后果。
　　21、正確使用轉(zhuǎn)動(dòng)式麥?zhǔn)险婵沼?jì)，否則會(huì)造成真空讀數(shù)誤差或因操作過(guò)急而使水銀溢出造成公害。
　　22、注意真空泵皮帶盤(pán)安全運(yùn)行。
　　23、在墊真空密封膠帶，蓋爐體頂蓋時(shí)，注意防止壓手。
　　24、凡在真空條件下，容易揮發(fā)影響真空衛(wèi)生，造成管道堵塞、真空泵臟化的工件或容器，不得入爐。
　　25、凡產(chǎn)品加有成型劑(如油或石蠟)，必須脫掉方可入爐燒結(jié)，否則會(huì)造成不良后果。
　　26、全部燒結(jié)過(guò)程中，要注意水表壓力范圍和冷卻水循環(huán)，以免發(fā)生事故。